特許
J-GLOBAL ID：200903069444108105
ロータリジョイント
発明者：
,
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
綾田 正道 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-064301
公開番号（公開出願番号）：特開平11-248072
出願日： 1998年02月27日
公開日（公表日）： 1999年09月14日
要約：
【要約】【課題】 各供給路中で金属イオンを混入させないで研磨液や純水などの液体を固定側から回転側に供給でき、また、超高精度の鏡面加工に害を及ぼす異物を供給路などに付着させず、特に、ポリッシングマシンやラッピングマシンなどの研磨装置で半導体ウエーハの超高精度の鏡面加工を行なうのに最適な技術の提供。【解決手段】 固定側ボディ1aと、フローティングシート2aと、ロータ3aと、を備えたロータリジョイント1Aにおいて、少なくとも空間室4の底部5とボディ側供給路7とフローティングシート供給路11とロータ側供給路15との壁面がフッ素樹脂材で形成されている構成。
請求項（抜粋）：
ボディ本体の一端側を開口して設けた空間室の底部と該ボディ本体の外表面に開設したボディ側供給口とがボディ側供給路で連通された固定側ボディと、前記空間室底部側にボス部が摺動自在に嵌合され該ボス部から先端摺動面中心までフローティングシート供給路が貫通されたフローティングシートと、後端摺動面を前記先端摺動面に密着させると共に先端部を前記固定側ボディから突出させた状態で該固定側ボディに回転自在に軸支され前記後端摺動面中心から先端部までロータ側供給路を貫通させたロータと、を備えたロータリジョイントにおいて、少なくとも前記空間室底部とボディ側供給路とフローティングシート供給路とロータ側供給路との壁面が流体への金属イオン流入防止材で形成されていることを特徴とするロータリジョイント。
引用特許：
前のページに戻る
