特許
J-GLOBAL ID：200903069446526281
欠陥検出装置及び検出方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 一雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-328078
公開番号（公開出願番号）：特開平7-181297
出願日： 1993年12月24日
公開日（公表日）： 1995年07月21日
要約：
【要約】【目的】 低エネルギの電子ビームを試料に照射して欠陥検出感度とスループットとの両方を向上させることのできる欠陥検出装置及び検出方法を提供する。【構成】 矩形陰極101と、四極子レンズ117、119、121と、偏向器129とを有する光学鏡筒を備える。四極子レンズ制御手段122により四極子レンズを制御して、矩形陰極の長手方向に出射する電子ビームの軌道の縮小率と矩形陰極の幅方向に出射する電子ビームの軌道の縮小率との比を矩形陰極のアスペクト比として矩形陰極から放射される電子ビームを、幅が最小欠陥検出幅に等しい矩形ビームに整形する。そして偏向器制御手段130により偏向器129を制御して、矩形ビームの1回の走査移動量を幅方向と長手方向に最小欠陥検出幅として、試料表面にラスタ走査する。
請求項（抜粋）：
試料表面に電子ビームを走査し、前記試料から得られる信号を画像処理して前記試料の欠陥を検出する欠陥検出装置において、電子ビームを発生する矩形陰極と、前記発生した電子ビームを前記試料表面に集束する複数の多極子レンズと、前記複数の多極子レンズを制御して、前記矩形陰極の長手方向に出射する電子ビームの軌道の縮小率と前記矩形陰極の幅方向に出射する電子ビームの軌道の縮小率との比が前記矩形陰極の長さと幅との比に等しく、且つ、幅が所望の最小欠陥検出幅に等しい矩形ビームを得る第1の制御手段と、前記矩形ビームを前記試料表面に走査させる偏向器と、前記矩形ビームの1回の走査移動量を幅方向と長手方向に前記最小欠陥検出幅として、ラスタ走査するように前記偏向器を制御する第2の制御手段とを備えたことを特徴とする欠陥検出装置。
IPC (4件)：
G21K 5/04
, G01N 23/225
, G01R 31/302
, H01L 21/66
