膜形成用組成物、膜の形成方法および低密度化膜

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：白井重隆
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-177699
公開番号（公開出願番号）：特開2001-049176
出願日： 1999年06月24日
公開日（公表日）： 2001年02月20日
要約：

【要約】【課題】半導体素子などにおける層間絶縁膜として有用な、誘電率特性、CMP耐性に優れた低密度化膜が得られる膜形成用組成物を提供すること。【解決手段】 R2 R3 Si(OR1 )2 、R2 Si(OR1 )3 およびSi(OR1 )4 の群から選ばれた少なくとも1種と、R2 s (R1 O)3-s SiRSi(OR1)3-t R2 t (R1 〜R3 は同一でも異なっていてもよく、それぞれ1価の有機基、Rは2価の有機基を示し、sおよびtは0〜1の整数である)、とを含有するシラン化合物、その加水分解物および/またはその縮合物、(B)ポリエーテル、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリアンハイドライドおよび(メタ)アクリル系重合体の群から選ばれた少なくとも1種の有機ポリマー、ならびに(C)アルコール系溶媒、ケトン系溶媒、アミド系溶媒およびエステル系溶媒の群から選ばれた少なくとも1種の溶媒、を含有する膜形成用組成物。

請求項（抜粋）：

(A)(A-1)下記一般式(1)で表される化合物、(A-2)下記一般式(2)で表される化合物および(A-3)下記一般式(3)で表される化合物の群から選ばれた少なくとも1種と、(A-4)下記一般式(4)で表される化合物、とを含有するシラン化合物、その加水分解物および/またはその縮合物であり、各成分を完全加水分解縮合物に換算したときに、(A-4)成分が(A-1)成分、(A-2)成分、(A-3)成分および(A-4)成分の総量に対して5〜50重量%であり、かつ〔(A-1)成分の重量〕<〔(A-2)成分の重量〕、〔(A-3)成分の重量〕<〔(A-2)成分の重量〕、R<SP>2 </SP>R<SP>3 </SP>Si(OR<SP>1 </SP>)<SB>2 </SB> ・・・・・(1)R<SP>2 </SP>Si(OR<SP>1 </SP>)<SB>3 </SB> ・・・・・(2)Si(OR<SP>1 </SP>)<SB>4 </SB> ・・・・・(3)(R<SP>1 </SP>〜R<SP>3 </SP>は同一でも異なっていてもよく、それぞれ1価の有機基、Rは2価の有機基を示し、sおよびtは0〜1の整数である。)(B)ポリエーテル、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリアンハイドライドおよび(メタ)アクリル系重合体の群から選ばれた少なくとも1種の有機ポリマー、ならびに(C)アルコール系溶媒、ケトン系溶媒、アミド系溶媒およびエステル系溶媒の群から選ばれた少なくとも1種の溶媒を含有することを特徴とする膜形成用組成物。

IPC (3件)：

C09D183/04 , H01L 21/312 , H01L 21/316

FI (3件)：

C09D183/04 , H01L 21/312 C , H01L 21/316 H

Fターム (72件)：

4J038CG141 , 4J038CG142 , 4J038CG161 , 4J038CG162 , 4J038CG171 , 4J038CG172 , 4J038CH031 , 4J038CH032 , 4J038CH041 , 4J038CH042 , 4J038CH051 , 4J038CH052 , 4J038CH171 , 4J038CH172 , 4J038CH201 , 4J038CH202 , 4J038CK031 , 4J038CK032 , 4J038CK041 , 4J038CK042 , 4J038DB221 , 4J038DB222 , 4J038DD021 , 4J038DD022 , 4J038DD051 , 4J038DD052 , 4J038DE011 , 4J038DE012 , 4J038DF011 , 4J038DF012 , 4J038DL051 , 4J038DL052 , 4J038DN011 , 4J038DN012 , 4J038GA01 , 4J038GA02 , 4J038GA03 , 4J038GA06 , 4J038GA07 , 4J038GA08 , 4J038GA09 , 4J038GA10 , 4J038JA17 , 4J038JA25 , 4J038JA27 , 4J038JA32 , 4J038JA53 , 4J038JB12 , 4J038JB25 , 4J038KA06 , 4J038MA07 , 4J038MA09 , 4J038MA14 , 4J038NA07 , 4J038NA17 , 4J038NA21 , 4J038NA24 , 4J038PA19 , 5F058AA04 , 5F058AA10 , 5F058AC03 , 5F058AF04 , 5F058AG01 , 5F058AH01 , 5F058AH02 , 5F058BA07 , 5F058BA20 , 5F058BD07 , 5F058BF46 , 5F058BH01 , 5F058BJ01 , 5F058BJ02

前のページに戻る