被加工物用保持剤およびそれを用いた被加工物の脱着方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山本秀策
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-263751
公開番号（公開出願番号）：特開2000-087004
出願日： 1998年09月17日
公開日（公表日）： 2000年03月28日
要約：

【要約】【課題】被加工物を研磨時には高精度にしかも安定的に研磨機定盤に粘着固定し、研磨機定盤から剥離する際には容易に剥離ならしめ、しかも従来の有機溶剤や界面活性剤による洗浄を必要としない被加工物用保持剤および保持剤を用いた被加工物の脱着方法を提供すること。【解決手段】約15°Cより狭い温度範囲にわたって起こる融点を持つ側鎖結晶化可能ポリマーと、感圧接着剤とを有する接着剤組成物から形成され、ポリマーが接着剤組成物中に1〜30重量%され、側鎖結晶化可能ポリマーが、炭素数16以上の直鎖状アルキル基を側鎖とするアクリル酸エステル及び/又はメタクリル酸エステルを主成分とする被加工物用保持剤。

請求項（抜粋）：

感圧接着剤と、1〜30重量%の側鎖結晶化可能ポリマーとを含有する接着剤組成物から形成される被加工物用保持剤であって、該側鎖結晶化可能ポリマーが、炭素数16以上の直鎖状アルキル基を側鎖とするアクリル酸エステル及び/又はメタクリル酸エステルを主成分とすることを特徴とする被加工物用保持剤。

IPC (5件)：

C09J201/00 , B24B 37/04 , C09J 5/00 , C09J 7/02 , H01L 21/304 622

FI (5件)：

C09J201/00 , B24B 37/04 J , C09J 5/00 , C09J 7/02 , H01L 21/304 622 J

Fターム (44件)：

3C058AB04 , 3C058CA06 , 3C058CB01 , 3C058CB10 , 3C058DA17 , 4J004AA02 , 4J004AA04 , 4J004AA05 , 4J004AA07 , 4J004AA08 , 4J004AA10 , 4J004AA15 , 4J004AB01 , 4J004AB03 , 4J004CA06 , 4J004CC02 , 4J004EA05 , 4J004FA05 , 4J004FA08 , 4J040BA202 , 4J040CA011 , 4J040CA051 , 4J040CA081 , 4J040CA101 , 4J040DA141 , 4J040DD051 , 4J040DE021 , 4J040DF041 , 4J040DF042 , 4J040DF052 , 4J040DF061 , 4J040DF102 , 4J040DM011 , 4J040DN032 , 4J040DN072 , 4J040EL012 , 4J040JA03 , 4J040JB09 , 4J040KA26 , 4J040LA01 , 4J040LA06 , 4J040LA08 , 4J040MA05 , 4J040NA20

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