特許
J-GLOBAL ID：200903069453838280
ウェット処理装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
保立 浩一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-070114
公開番号（公開出願番号）：特開平6-208988
出願日： 1992年02月21日
公開日（公表日）： 1994年07月26日
要約：
【要約】【目的】 気化した処理液の漏出を充分に防止した構造のウェット処理装置を提供する。【構成】 ニュートラル室2,3に、処理室1からの気化した処理液の流路を遮断するようにして液体Lを流動させる液体カーテン部22,23を具備し、基板10は液体カーテン部22,23で流動する液体Lを通り抜けて搬送される。液体流動部22は、例えばニュートラル室2を区画する隔壁221と隔壁221に対面させて立設したカーテン部側板222とから構成され、下方の流入口225から流入する液体Lは、隔壁221とカーテン部側板222との間に溜まりながら、搬送ライン40の高さに設けられた隔壁流出口226及び側板流出口227から流出する。基板10は、この隔壁流出口226及び側板流出口227を通って搬送される
請求項（抜粋）：
処理室と、この処理室の前又は後ろに設けられたニュートラル室とを具備したウェット処理装置において、ニュートラル室には、処理室からの気化した処理液の流路を遮断するようにして液体を流動させる液体カーテン部を具備し、基板は液体カーテン部で流動する液体を通り抜けるようにして搬送されることを特徴とするウェット処理装置。
IPC (3件)：
H01L 21/306
, C23F 1/08 101
, G02F 1/1343
