特許
J-GLOBAL ID:200903069455813943

マスクパターンチェック方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 鳥居 洋
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-027060
公開番号(公開出願番号):特開平11-224278
出願日: 1998年02月09日
公開日(公表日): 1999年08月17日
要約:
【要約】【課題】 この発明は、最終的なマスクパターンがどの様なマスクパターンを用いているのか検証可能にし、マスクパターン不良の発生等を防止することを目的とする。【解決手段】 この発明のマスクパターンチャック方法は、機能セル毎のマスクパターンにバージョン番号を付けると共に、半導体集積回路を構成するマスクパターンのそれぞれのバージョン番号を抽出し、前記抽出したバージョン番号を対応する機能セルの最新バージョン番号と比較し、最新バージョンのセルのマスクパターンを使用しているかをチェックする。
請求項(抜粋):
機能セル毎のマスクパターンにバージョン番号を付けると共に、半導体集積回路を構成するマスクパターンのそれぞれのバージョン番号を抽出することを特徴とするマスクパターンチェック方法。
FI (2件):
G06F 15/60 666 Z ,  G06F 15/60 614 D
引用特許:
審査官引用 (4件)
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