特許

J-GLOBAL ID：200903069456306565

機械式インターフエース装置

発明者： 山下 哲平 ,  村田 正直 ,  田中 幹 ,  森田 日也 ,  河野 等 ,  奥野 敦 ,  津田 正徳 ,  林 満弘
出願人/特許権者： 神鋼電機株式会社
代理人 (1件)： 小林 傅
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-240847
公開番号（公開出願番号）：特開平5-082620
出願日： 1991年09月20日
公開日（公表日）： 1993年04月02日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 ポッド内のガス置換が容易に可能であり、簡単な部材を付加するだけでこのガス置換が可能となるSMIF装置を提供する。【構成】 ポートドア31がポッドドア21をポッド内から本体ケース1へまたその逆へ搬送する装置において、ポートドア31が所定高さ昇降動可能な筒状空間を内部に区画するとともにポートドアの下面に気密に係合可能な下係合周部33Aとポートプレート3の下面に気密に係合可能な上係合周部33Bを有する可動のポートスカート33、ポートドア31もしくは当該ポートドアとともに昇降する部材に配設されポートスカート33をポートプレートへ向けて付勢する付勢装置37を備え、ポートプレートは排気口3Bと給気口3Aを有し、ポッド10内へのN2 ガス注入に際して、ポートドア31が下係合部33Aに気密に係合するまで下降駆動される。

請求項（抜粋）：

本体ケースに設けられ被処理物の搬入・搬出用ポートを形成するポートプレート上に載置されて前記ポートを覆う開口フランジ付ポッド、このポッドの開口を閉鎖可能なポッドドア、前記本体ケース内に昇降可能に支持され最上昇時に上記ポートプレートに係合して前記ポートを閉鎖するポートドアを備え、このポートドアが上記ポッドドアを上記ポッド内から本体ケースへまたその逆へ搬送する機械式インターフェース装置において、上記ポートドアが所定高さ昇降動可能な筒状空間を内部に区画するとともに上記ポートドアの下面に気密に係合可能な下係合周部と上記ポートプレートの下面に気密に係合可能な上係合周部を有する可動のポートスカート、上記ポートドアもしくは当該ポートドアとともに昇降する部材に配設され上記ポートスカートを上記ポートプレートへ向けて付勢する付勢装置を備え、上記ポートプレートは内周面に開口する排気口とこの内周面に開口するとともにN2 ガス源に接続される給気口を有し、上記ポッド内へのN2 ガス注入に際し、上記ポートドアが上記下係合周部に気密に係合するまで所定高さ下降駆動されて上記ポッドドアと上記ポートドアとが上記ポッド内と連通する密封空間を上記ポートプレート側との間に区画することを特徴とする機械式インターフェース装置。