特許
J-GLOBAL ID：200903069462925285
半導体製造装置のプロセスデータ表示制御装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
守山 辰雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-136111
公開番号（公開出願番号）：特開平10-312259
出願日： 1997年05月09日
公開日（公表日）： 1998年11月24日
要約：
【要約】【課題】 半導体製造装置により実行されたプロセス処理のデータを表示手段の画面にグラフとして表示出力させるに際して、グラフ中のプロセスデータを表す線の線種等といった表示形態を制御する。【解決手段】 例えば線色を変更する場合には、表示条件記憶手段13がグラフ中のプロセスデータを表す線の線色を規定する赤や青といった2種類以上の表示条件を記憶しておく。ここで、各プロセスデータのグラフ表示は、これら2種類以上の表示条件の内のいずれかを表示に用いる条件として各プロセスデータ毎に設定する表示条件設定手段15の設定内容に基づいて行われ、表示条件変更手段14が入力手段5によるオペレータからの指示に応じて表示条件設定手段15に設定するプロセスデータの表示条件を変更させると、制御手段16がグラフの表示を画面4に行うに際して、表示条件制御手段17が設定された表示条件に基づいて各プロセスデータを表す線の線色を制御する。
請求項（抜粋）：
半導体製造装置により実行されたプロセス処理のデータを表示手段の画面にグラフとして表示出力させる半導体製造装置のプロセスデータ表示制御装置において、グラフ中のプロセスデータを表す線の表示形態を規定する表示条件を2種類以上記憶した表示条件記憶手段と、表示条件記憶手段に記憶されている表示条件の内のいずれかを表示に用いる条件として設定する表示条件設定手段と、オペレータからの指示に応じて表示条件設定手段に設定する表示条件を変更させる表示条件変更手段と、前記表示手段に設定された表示条件に基づいてグラフの表示を行わせる表示条件制御手段と、を備えたことを特徴とする半導体製造装置のプロセスデータ表示制御装置。
IPC (4件)：
G06F 3/14 320
, G05B 23/02 301
, G09G 5/36 510
, H01L 21/02
G06F 3/14 320 C
, G05B 23/02 301 Q
, G09G 5/36 510 A
, H01L 21/02 Z
