特許

J-GLOBAL ID：200903069477667428

露光装置

発明者： 竹内 仁
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 前田 均 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-368063
公開番号（公開出願番号）：特開平11-195583
出願日： 1997年12月26日
公開日（公表日）： 1999年07月21日
要約：

【要約】【課題】 特に短波長の光を用いて露光を行う露光装置において、露光用光の強度低下およびオゾンの発生を抑制することができる露光装置を提供すること。【解決手段】 露光用照明光を射出する光源2と、照明光をレチクルRに照射する照明光学系110と、レチクルRを保持するレチクルステージ18と、レチクルRから出射される照明光をウエハW上に投射する投影光学系PLと、ウエハWを保持するウエハステージ22とを備えた露光装置100であって、照明光学系110の少なくとも一部と、投影光学系PLと、レチクルステージ18およびウエハステージ22の定盤23とを含む装置本体を筐体102で覆い、筐体102はその内部が照明光の通過によるオゾン発生の割合を低下させる雰囲気となる密閉構造である。

請求項（抜粋）：

露光用照明光を射出する光源と、前記照明光をマスクに照射する照明光学系と、前記マスクを保持する第1保持部材と、前記マスクから出射される照明光を感光性基板上に投射する投影光学系と、前記感光性基板を保持する第2保持部材とを備えた露光装置であって、前記照明光学系の少なくとも一部と、前記投影光学系と、前記第1および第2保持部材とを含む装置本体を筐体で覆い、前記筐体はその内部が前記照明光の通過によるオゾン発生の割合を低下させる雰囲気となる密閉構造であることを特徴とする露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (6件)：

H01L 21/30 516 F ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 502 G ,  H01L 21/30 514 Z ,  H01L 21/30 515 D ,  H01L 21/30 516 E