特許
J-GLOBAL ID：200903069478588270
薄膜磁気ヘッドおよびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
筒井 大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-147235
公開番号（公開出願番号）：特開2002-342905
出願日： 2001年05月17日
公開日（公表日）： 2002年11月29日
要約：
【要約】【課題】 薄膜磁気ヘッドにおいて、バックギャップ部と導体コイル間の導通による絶縁性能低下を防止する。【解決手段】 第二絶縁膜113を介して積層された第一導体コイル層と第二導体コイル層を接続する第一導体コイルコンタクトホール部と、第一導体コイル層と第二導体コイル層に鎖交するように下部磁極膜と上部磁極膜を接続するバックギャップ部112とを含み、第二絶縁膜113はバックギャップ部112および第一導体コイルコンタクトホール部を包含する開口部113aを有する構成の薄膜磁気ヘッドにおいて、第二絶縁膜113の開口部113aには、バックギャップ部112と第一導体コイルコンタクトホール部の間隙に張り出す突起形状部113bを設け、第二導体コイル層を覆う第三絶縁膜115は、バックギャップ部112を含む開口部の周縁部に第二絶縁膜113を露出させる構成とした。
請求項（抜粋）：
少なくとも下部磁性膜、導体コイル層、上部磁性膜、前記下部磁性膜と前記導体コイル層を絶縁する第一絶縁膜、前記上部磁性膜と前記導体コイル層を絶縁する第二絶縁膜を含む薄膜磁気ヘッドであって、前記第二絶縁膜は前記上部磁性膜と前記下部磁性膜で磁路を形成するバックギャップ部および前記導体コイル層のコンタクトホール部を包含する開口部を有し、前記開口部の輪郭には前記バックギャップ部と前記コンタクトホール部との間に張り出した突起部を有することを特徴とした薄膜磁気ヘッド。
Fターム (10件)：
5D033BA35
, 5D033BA36
, 5D033BA39
, 5D033BA41
, 5D033DA01
, 5D033DA02
, 5D033DA04
, 5D033DA07
, 5D033DA08
, 5D033DA31
