特許
J-GLOBAL ID：200903069481252453
イオン源
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
成田 擴其
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-246488
公開番号（公開出願番号）：特開平5-062606
出願日： 1991年09月02日
公開日（公表日）： 1993年03月12日
要約：
【要約】【目的】 イオン源を真空に保ったまま取外しを可能にすること。【構成】 イオン源チェンバ1のビ-ム引出し部にゲ-トバルブ部11を設け、ビ-ムダクト8に結合する。ゲ-トバルブ部のL字型の筐体12内に、ビ-ム引出し口3が形成された引出し用弁体17と、これと90度角度を異にして遮蔽用弁体(18)が設けられている。ビ-ム発生時、引出し用弁体を弁座16に配置する。イオン源のクリ-ニング時、引出し用弁体を収容部21内に引込み、遮蔽用弁体(18)を弁座に配置し、イオン源チェンバ内を真空状態に保ったままビ-ムダクトから取り外す。チェンバ内に溜った有毒物質は空気中に洩れず、空気が流入しないから発火反応も起こらない。
請求項（抜粋）：
ビ-ム引出し口部にゲ-トバルブ部を有し、チェンバを密閉可能に構成したことを特徴とするイオン源。
IPC (3件)：
H01J 27/02
, H01J 37/08
, H05H 7/08
