エンクロージャ内で対象物を複数の位置に位置決めする装置及び方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：長谷川芳樹 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-178651
公開番号（公開出願番号）：特開平11-067867
出願日： 1998年06月25日
公開日（公表日）： 1999年03月09日
要約：

【要約】【課題】ウェハカセットをインデックス配置又は位置決めし、従来の真空と大気とのインターフェースを排除する装置を提供することを目的とする。【解決手段】対象物をエンクロージャ内の複数の位置に位置決めする装置は、リニアモータに取り付けられた移動可能な位置決め部材を備え、これらの部材は共にエンクロージャ内に配置されている。この位置決め部材は、対象物を受容し保持する。制御信号は、位置決め部材、すなわち対象物を移動させるリニアモータを直接移動させる。絶縁された導体はエンクロージャの壁を貫通して延び、壁を介した電気的導通を可能とする。絶縁された導体は、エンクロージャ外部の電源及び制御機構に接続されている。可撓性の通信ラインは、エンクロージャとの接触を避けるために採用され、絶縁された導体とリニアモータとを接続する。これにより、リニアモータは電源及び制御機構に接続される。

請求項（抜粋）：

エンクロージャ内で複数の位置に対象物を位置決めする装置であって、前記エンクロージャ内に配置された移動可能な位置決め部材と、前記エンクロージャ内に配置され、前記移動可能な位置決め部材に接続されかつ、前記移動可能な位置決め部材を移動させる動作アクチュエータとを備えることを特徴とする装置。

前のページに戻る