特許

J-GLOBAL ID：200903069483425185

剥離用水溶液の水分濃度の維持方法及び剥離用水溶液供給装置

発明者： 古川 智晴
出願人/特許権者： ソニー株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-141271
公開番号（公開出願番号）：特開平10-335212
出願日： 1997年05月30日
公開日（公表日）： 1998年12月18日
要約：

【要約】【課題】 水分濃度を所定濃度に維持した剥離用水溶液を供給する装置を提供する。【解決手段】 本剥離用水溶液供給装置10は、剥離用水溶液を収容し、タンク内の加熱手段(図示せず)により50〜80°Cの温度に維持する薬液タンク12と、薬液タンクから循環ライン14を介して薬液タンクに剥離用水溶液を循環、送液する送液ポンプ16と、循環ライン中に設けられ、剥離用水溶液中の水分濃度を測定する水分濃度計18と、水分濃度計で測定した水分濃度に基づいて、水分濃度が所定濃度になるように、循環経路内の剥離用水溶液に水を補充する水補充手段20とを備えている。

請求項（抜粋）：

少なくともアミン系剥離液及び腐食防止剤を薬剤とする水溶液として調製された、被剥離体から異物を剥離、除去するための剥離用水溶液の水分濃度を所定水分濃度範囲に維持する方法であって、剥離用水溶液の水分濃度をリアルタイムで測定し、測定した水分濃度に基づいて剥離用水溶液に水を補充する手法、及び使用温度での水分蒸発による剥離用水溶液の経時的水分濃度変化に基づいて、剥離用水溶液の水分濃度を所定水分濃度範囲に維持するための水補充スケジュールを予め定め、使用の際には設定した水補充スケジュールに従い、時間経過に応じて剥離用水溶液に水を補充する手法のいずれかにより剥離用水溶液の水分濃度を所定水分濃度範囲に維持するようにしたことを特徴とする剥離用水溶液の水分濃度の維持方法。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  H01L 21/304 341 ,  H01L 21/306

FI (3件)：

H01L 21/30 572 B ,  H01L 21/304 341 S ,  H01L 21/306 J