特許

J-GLOBAL ID：200903069485818311

断面及び3次元形状測定装置

発明者： 茂出木 敏雄 ,  佐藤 明 ,  高倉 章 ,  飯沼 輝明 ,  山地 正高 ,  渡辺 智
出願人/特許権者： 大日本印刷株式会社
代理人 (1件)： 高矢 諭 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-357221
公開番号（公開出願番号）：特開平11-183136
出願日： 1997年12月25日
公開日（公表日）： 1999年07月09日
要約：

【要約】【課題】 エッチング製品等の断面形状計測を、非破壊で高速に行う。【解決手段】 測定対象に複数方向からパターン光を投影し、該パターン光を、複数の斜め方向から撮影した得られた画像から、パターン光面の斜方変換形状を抽出し、該斜方変換形状を逆斜方変換して、パターン光面位置の座標を算出し、複数の画像を処理することによって得られたパターン光面位置の座標を合成して、測定対象の断面形状を得る。

請求項（抜粋）：

測定対象に複数方向から所定のパターン光を投影するパターン光投影手段と、測定対象上に投影されたパターン光を、複数の斜め方向から撮影するための、少なくとも一部視野が重複した、複数の撮影手段と、該撮影手段によって得られた画像から、パターン光面の斜方変形形状を抽出する手段と、該斜方変形形状を逆斜方変換して、パターン光面位置の座標を算出する手段と、前記複数の撮影手段の画像を処理することによって得られたパターン光面位置の座標を合成して、測定対象の断面形状を得る手段と、を備えたことを特徴とする断面形状測定装置。