特許

J-GLOBAL ID：200903069488059969

荷電粒子装置における試料回転装置

発明者： 木村 淳
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-050113
公開番号（公開出願番号）：特開平11-233054
出願日： 1998年02月16日
公開日（公表日）： 1999年08月27日
要約：

【要約】【課題】 外部振動に対する影響をなくして高倍率での試料観察ができる荷電粒子ビーム装置における試料回転装置を提供すること。【解決手段】ホルダ保持部材の先端に試料ホルダを回転可能に取付け、ワイヤーを介して該試料ホルダを回転させるようにした電荷粒子ビーム装置の試料回転装置において、ワイヤーに一個又は複数個の除振部材を取付け、該除振部材がワイヤーの移動と共に移動しつつ常に前記ホルダ保持部材に接触するようにした。

請求項（抜粋）：

ホルダ保持部材の先端に試料ホルダを回転可能に取付け、ワイヤーを介して該試料ホルダを回転させるようにした電荷粒子ビーム装置の試料回転装置において、ワイヤーに一個又は複数個の除振部材を取付け、該除振部材がワイヤーの移動と共に移動しつつ常に前記ホルダ保持部材に接触するようにしたことを特徴とする電荷粒子ビーム装置の試料回転装置。