特許
J-GLOBAL ID：200903069492288581
直動機構
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 敬四郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-217822
公開番号（公開出願番号）：特開平10-223739
出願日： 1997年08月12日
公開日（公表日）： 1998年08月21日
要約：
【要約】【課題】 処理対象物の加熱による熱歪の影響を受けにくく、処理容器内におけるごみの発生を抑制できる直動機構を提供する。【解決手段】 処理容器の内部空洞内に、両端が処理容器の壁を貫通して外部まで導出された駆動用支軸が配置されている。駆動用支軸が処理容器の壁を貫通する箇所において、駆動用支軸がその軸方向に並進移動可能なように、かつ処理容器の内部空洞の気密性が保たれるように、内部空洞と外部とを隔離する気密機構が設けられている。駆動用支軸の一方の端部に駆動用支軸が処理容器に対して軸方向に並進移動可能なように駆動用支軸を支持するリニアガイド機構が取り付けられている。駆動用支軸の他方の端部に、駆動用支軸を処理容器に対して軸方向に並進移動させる駆動機構が取り付けられている。処理容器の内部空洞内に処理対象物を保持する保持手段が配置され、この保持手段が駆動用支軸により支持されている。
請求項（抜粋）：
内部空洞を有する処理容器と、前記処理容器の内部空洞内に配置され、両端が処理容器の壁を貫通して外部まで導出された駆動用支軸と、前記駆動用支軸が前記処理容器の壁を貫通する箇所において、前記駆動用支軸がその軸方向に並進移動可能なように、かつ前記処理容器の内部空洞の気密性が保たれるように、内部空洞と外部とを隔離する気密機構と、前記駆動用支軸の一方の端部に取り付けられ、該駆動用支軸が前記処理容器に対して軸方向に並進移動可能なように駆動用支軸を支持するリニアガイド機構と、前記駆動用支軸の他方の端部に取り付けられ、前記駆動用支軸を前記処理容器に対して軸方向に並進移動させる駆動機構と、前記処理容器の内部空洞内において、前記駆動用支軸に取り付けられ、処理対象物を保持する保持手段とを有する直動機構。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 N
, H01L 21/268 G
