特許

J-GLOBAL ID：200903069500269788

着磁鉄系異物の除去装置

発明者： 近藤 信一 ,  岡本 幸博
出願人/特許権者： トックエンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 富崎 元成 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-395670
公開番号（公開出願番号）：特開2002-195212
出願日： 2000年12月26日
公開日（公表日）： 2002年07月10日
要約：

【要約】【課題】バーマグネットチューブで補足・吸着した金属異物をきわめて簡単な構造で除去、清掃する。【解決手段】バーマグネットチューブ1の外周に鉄系異物Cが付着すると、空気流出入口9から加圧空気を注入すると、バーマグネットチューブ1はシリンダ4内に引き込まれる。バーマグネットチューブ1の磁力線は除去リング20によって、短絡されて、磁力線は磁性体である除去リング20に流れる。短絡されたスペーサ16は磁力を失い、バーマグネットチューブ1の外周に付着した鉄粉等の鉄系異物Cは除去リング20の磁性体の磁化によって、除去リング20の前端面に移り、マグネットチューブ1から取り除かれる。

請求項（抜粋）：

チューブの軸線方向に永久磁石であるマグネット要素と磁性体であるスペーサを交互に配置し、かつ、前記マグネット要素の同極が対向して反発するように並べられて前記チューブに内装されているバーマグネットチューブの着磁鉄系異物の除去装置であって、前記バーマグネットチューブに設けられたピストンと、前記ピストンを挿入しシリンダ駆動機構を構成するシリンダと、前記ピストンと前記シリンダにより区画された室に流体を流出入させる流出入口と、前記シリンダに配置され、内周孔の直径が前記バーマグネットチューブの前記チューブの外径より大きくリング構造を有し磁性材料から成るリングとからなることを特徴とする着磁鉄系異物の除去装置。

IPC (3件)：

F15B 15/14 350 ,  B03C 1/00 ,  B03C 1/28

FI (3件)：

F15B 15/14 350 ,  B03C 1/00 A ,  B03C 1/28

Fターム (7件)：

3H081AA03 ,  3H081BB02 ,  3H081BB03 ,  3H081CC08 ,  3H081DD13 ,  3H081EE29 ,  3H081HH10

引用特許：

審査官引用 (2件)

• バーマグネット及びマグネットフィルタ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-144664   出願人：株式会社マグネテックジャパン
• 往復直動装置とこれを用いた半導体製造装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-027069   出願人：富士通株式会社