特許
J-GLOBAL ID：200903069500657591
狭帯域化エキシマレーザー発振器
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
光石 俊郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-155714
公開番号（公開出願番号）：特開平9-008389
出願日： 1995年06月22日
公開日（公表日）： 1997年01月10日
要約：
【要約】【目的】 レーザー媒質を封入した1つのレーザー管だけで光発振と光増幅を効果的に行うようにする。【構成】 レーザー媒質101を封入したレーザー管102を間にして、一対のアパーチャ103a,103bと、光共振器である全反射鏡104と波長分散性光学素子106を備え、狭帯域化した良質なレーザー光Lを得る。この場合、全反射鏡104を用いているのでQ値が大きく、レーザー光強度は高い。レーザー光Lはビーム拡大素子105により光断面積が拡げられ、波長分散性光学素子106により特定の次数の光成分が取り出される。取り出されたレーザー光L′は、折り返し鏡107で反射されて再びレーザー管102のレーザー媒質101の中を通り光増幅される。
請求項（抜粋）：
レーザー媒質が封入されたレーザー管と、レーザー管を間にして対向配置されており、前記レーザー管から出力された光の拡がり角を制限しつつ通過させる一対の拡がり角制限手段と、前記レーザー管から出力され前記拡がり角制限手段の一方を通過してきた光を反射し、反射光を往路と同じ光路に送る位置に設置された全反射鏡と、前記レーザー管から出力され前記拡がり角制限手段の他方を通過してきた光が入射する位置に設置され、光がレーザー管から離れる方向に進行・通過するときには光断面積を拡大し、光がレーザー管に近づく方向に進行・通過するときには光断面積を縮小するビーム拡大素子と、前記ビーム拡大素子を進行・通過することにより光断面積が拡大した光が入射する位置に設置され、回折現象を利用して、特定次の光は反射して往路と同じ光路に送ると共に、特定次と1次異なる光は反射して往路と異なる光路に送る波長分散性光学素子と、前記波長分散性光学素子により反射された特定次と1次異なる光を反射することにより前記レーザー管に入力して通過させる折り返し鏡と、でなることを特徴とする狭帯域化エキシマレーザー発振器。
IPC (4件)：
H01S 3/106
, H01S 3/08
, H01S 3/097
, H01S 3/225
H01S 3/106
, H01S 3/08 Z
, H01S 3/097 Z
, H01S 3/223 E
