特許

J-GLOBAL ID：200903069500760082

光学システムにおけるモジュールの位置のダイナミックな操作方法

発明者： カール-オイゲン・オーベレ
出願人/特許権者： カール-ツァイス-シュティフトゥング・トレーディング・アズ・カール・ツァイス
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-351023
公開番号（公開出願番号）：特開2002-361598
出願日： 2001年11月16日
公開日（公表日）： 2002年12月18日
要約：

【要約】【課題】 本発明の方法は、光学システム内のモジュールまたは部品のダイナミックな操作および調節方法を提供する。【解決手段】 モジュールまたは部品例えばレンズは相対的経路変移を決定する検出器を有する少なくとも2つのアクチュエータにより変移され、部品の位置は少なくとも2つのセンサにより決定され、アクチュエータとセンサは制御ループにより通信する。機械的インパルスがアクチュエータにより部品に与えられ、そのタイミングは意図的に変化される。アクチュエータの移動は部品の設定位置(Ssetpoint)に関する決定された位置(Sn actual)の関数として指令された時間的に変化する速度プロファイルにより実行され、その後にその位置(Sn actual)が再決定される。これらのステップは部品2 が所望の位置(Ssetpoint)に到達するまで繰り返される。

請求項（抜粋）：

サブμm領域の光学システム内のモジュールまたは部品をダイナミックに操作する方法において、前記モジュールまたは部品は少なくとも2つのアクチュエータによって変移され、それらのアクチュエータは少なくともそれらの相対的経路変移を決定する検出器を有し、前記モジュールまたは部品の位置は少なくとも2つのセンサにより決定され、検出器を有する前記アクチュエータと前記センサは制御ループ方式によって互いに通信し、前記アクチュエータによって前記モジュールまたは部品に少なくとも1つの機械的インパルスが印加され、前記インパルスのタイミングは意図的に変化されることができ、このような目的のために前記アクチュエータの変移が前記モジュールまたは部品の設定位置(Ssetpoint)に対る決定位置(Sn actual)の関数として指令された時間的に変化する速度プロファイルによって行われ、前記モジュールまたは部品の前記位置(Sn actual)は前記速度プロファイルが行われた後に再決定され、前記方法のステップは前記モジュールまたは部品の所望の位置(Ssetpoint)に到達するまで繰り返されるサブμm領域の光学システム内のモジュールまたは部品のダイナミックな操作方法。

IPC (7件)：

B81C 5/00 ,  G02B 7/02 ,  G02B 7/08 ,  G03F 7/20 521 ,  G05D 3/12 304 ,  G05D 3/12 306 ,  H01L 21/027

FI (9件)：

B81C 5/00 ,  G02B 7/02 C ,  G02B 7/08 C ,  G02B 7/08 Z ,  G03F 7/20 521 ,  G05D 3/12 304 ,  G05D 3/12 306 R ,  H01L 21/30 516 A ,  H01L 21/30 515 D

Fターム (25件)：

2H044AC01 ,  2H044DA03 ,  2H044DB08 ,  2H044DC01 ,  2H044DE06 ,  5F046CB12 ,  5F046CB25 ,  5F046DA14 ,  5F046DA30 ,  5H303AA06 ,  5H303BB07 ,  5H303CC02 ,  5H303DD01 ,  5H303DD19 ,  5H303EE07 ,  5H303GG11 ,  5H303GG25 ,  5H303HH02 ,  5H303KK02 ,  5H303KK03 ,  5H303KK04 ,  5H303KK14 ,  5H303KK15 ,  5H303KK16 ,  5H303QQ06