特許
J-GLOBAL ID：200903069509530160
限界電流式酸素センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
伊丹 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-284007
公開番号（公開出願番号）：特開平7-113782
出願日： 1993年10月18日
公開日（公表日）： 1995年05月02日
要約：
【要約】【目的】 優れた特性と高い信頼性を有する限界電流式酸素センサを提供する。【構成】 アルミナ基板1に、一部が拡散律速性を持つ酸素ガス供給部21,22として基板周辺に導出されたポーラスな絶縁膜2が形成され、この上にベタ構造のPtカソード電極3、安定化ジルコニア膜4及び櫛型パターンのPtアノード電極5がドライプロセスにより積層形成される。絶縁膜2の一部は酸素ガス供給部21,22として基板周辺部に導出される。安定化ジルコニア膜4及び絶縁膜2の周辺部を覆い、かつアノード電極5の形成された面及び絶縁膜2の酸素ガス供給部21,22を露出させた中抜きパターンをもってガラス封止層6が形成される。
請求項（抜粋）：
基板と、この基板上に形成された、一部が拡散律速性を持つ酸素ガス供給部として基板周辺に導出されたポーラスな絶縁膜と、この絶縁膜上に形成されたカソード電極と、このカソード電極上に形成された酸化物イオン伝導体膜と、このイオン伝導体膜上に形成された櫛形パターンのアノード電極と、このアノード電極の形成された面及び前記絶縁膜の酸素ガス供給部を露出させた中抜きパターンをもって、前記酸化物イオン伝導体膜及び絶縁膜の周辺部を覆うように形成された封止層とを有することを特徴とする限界電流式酸素センサ。
FI (2件)：
G01N 27/46 325 J
, G01N 27/46 325 D
