レーザ発振装置、露光装置及びデバイスの製造方法

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出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：國分孝悦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-051807
公開番号（公開出願番号）：特開2000-252562
出願日： 1999年02月26日
公開日（公表日）： 2000年09月14日
要約：

【要約】【課題】個々のスロットの長手方向にわたり全体的に均一なプラズマの励起を実現する。【解決手段】導波管1から導波管壁に形成された複数の微小間隙10を介して電磁波をレーザ管2内に導入することによりレーザ管2内のレーザガスを励起し、レーザガスから発せられる光を共振させてレーザ光を発生させるレーザ発振装置であって、微小間隙10の長手方向の端部における幅が中央部における幅に比して幅広に形成されている。これにより、端部におけるマイクロ波の放射強度を高めることができる。

請求項（抜粋）：

導波管から導波管壁に形成された複数の微小間隙を介して電磁波をレーザ管内に導入することにより前記レーザ管内のレーザガスを励起し、前記レーザガスから発せられる光を共振させてレーザ光を発生させるレーザ発振装置であって、前記微小間隙の長手方向の端部における幅が中央部における幅に比して幅広に形成されていることを特徴とするレーザ発振装置。

IPC (5件)：

H01S 3/0973 , G03F 7/20 502 , G03F 7/20 505 , G03F 7/20 521 , H01L 21/027

FI (6件)：

H01S 3/097 C , G03F 7/20 502 , G03F 7/20 505 , G03F 7/20 521 , H01L 21/30 515 B , H01L 21/30 527

Fターム (15件)：

2H097CA01 , 2H097CA13 , 2H097CA17 , 2H097GB01 , 2H097LA10 , 5F046BA04 , 5F046CA04 , 5F046CB05 , 5F046CB13 , 5F046CB17 , 5F071AA06 , 5F071CC10 , 5F071EE02 , 5F071GG03 , 5F071JJ10

引用特許：

審査官引用 (5件)

連続発光エキシマレーザ発振装置及び発振方法、露光装置並びにレーザ管
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-097648 出願人：大見忠弘, キヤノン株式会社
特開平2-237183
特表平4-504640

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