特許
J-GLOBAL ID：200903069514030630
パターン状研磨物の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-216057
公開番号（公開出願番号）：特開2001-038601
出願日： 1999年07月30日
公開日（公表日）： 2001年02月13日
要約：
【要約】【課題】 被研磨体の溝部以外を研磨するのに手間がかからないパターン状研磨物の製造方法を提供する。【解決手段】 多数の粒状の研磨材と溝部を有する被研磨体を攪拌し、被研磨体の溝部に研磨材を接触させないことによって被研磨体の溝部以外を研磨して、研磨部分と非研磨部分とから構成されるパターンを形成する。
請求項（抜粋）：
多数の粒状の研磨材と溝部を有する被研磨体を攪拌し、被研磨体の溝部に研磨材を接触させないことによって被研磨体の溝部以外を研磨して、研磨部分と非研磨部分とから構成されるパターンを形成することを特徴とするパターン状研磨物の製造方法。
Fターム (7件)：
3C058AA07
, 3C058BA02
, 3C058BA07
, 3C058BA09
, 3C058CB03
, 3C058CB10
, 3C058DA02
