特許
J-GLOBAL ID：200903069516393497

制御装置、温度調節器および熱処理装置

発明者：
田中 政仁

田中 政仁 について

, 
安藤 功策

安藤 功策 について


出願人/特許権者：
オムロン株式会社

オムロン株式会社 について


代理人 (1件)： 岡田 和秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-099003
公開番号（公開出願番号）：特開2002-297245
出願日： 2001年03月30日
公開日（公表日）： 2002年10月11日
要約：
【要約】【課題】外乱応答に対するオーバーシュート量を調整できるようにすることを目的とする。【解決手段】 外乱の印加によって低下した検出温度の最下点温度T1を初期温度として目標温度に徐々に近づくように、温度制御手段に対する目標温度を変更し、この変更の度合いを調整パラメータで設定できるようにしている。
請求項（抜粋）：
検出手段からの検出値と目標値との偏差に基づいて、操作信号を出力する制御手段と、外乱の印加に応答して、前記検出手段の検出値を初期値として前記目標値へ徐々に近づくように前記制御手段への目標値を変更する目標値変更手段と、を備えることを特徴とする制御装置。
IPC (3件)：
G05D 23/19 ,  H01L 21/31 ,  H01L 21/324
FI (3件)：
G05D 23/19 J ,  H01L 21/31 E ,  H01L 21/324 T
Fターム (14件)：
5F045AA20 ,  5F045AB32 ,  5F045GB05 ,  5F045GB15 ,  5H323BB05 ,  5H323BB06 ,  5H323CA06 ,  5H323EE06 ,  5H323FF01 ,  5H323KK05 ,  5H323LL01 ,  5H323LL02 ,  5H323MM06 ,  5H323NN14
引用特許：
審査官引用 (1件)

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