特許
J-GLOBAL ID：200903069518024243
凹凸欠陥検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-105702
公開番号（公開出願番号）：特開平8-304048
出願日： 1995年04月28日
公開日（公表日）： 1996年11月22日
要約：
【要約】【目的】被検査体表面の凹凸欠陥を光学的に増幅してテレビモニターに映し出すようにして容易に欠陥の有無及びその状態を観察できるようにすることにある。【構成】平行な照射光L0 を発する光源2と、CCDカメラ3と、再帰反射特性を有する反射板4とがそれぞれ定位置に配置され、前記光源2の射出光L0 を所定平面内に載置した被検査体1の表面で反射させて得られる第1反射光L1 を前記反射板4に入射して、それにより反射する第2反射光L2 を得た後、得られた該第2反射光L2 を前記被検査体1の表面で再度反射させて得られる第3反射光L3 を前記CCDカメラ3で検出する。
請求項（抜粋）：
平行な照射光L0 を発する光源2と、CCDカメラ3と、反射板4とがそれぞれ定位置に配置され、前記光源2の射出光L0 を所定平面内に載置した被検査体1の表面で反射させて得られる第1反射光L1 を前記反射板4に入射して、それにより反射する第2反射光L2 を得た後、得られた該第2反射光L2 を前記被検査体1の表面で再度反射させて得られる第3反射光L3 を前記CCDカメラ3で検出するようにしたことを特徴とする凹凸欠陥検査装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B 11/30 C
, G01N 21/88 A
