特許
J-GLOBAL ID：200903069534392422
マイクロ電気機械システムの共振器およびその駆動方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-297275
公開番号（公開出願番号）：特開2005-072757
出願日： 2003年08月21日
公開日（公表日）： 2005年03月17日
要約：
【課題】MEMS共振器の周囲温度を測定して、その温度変化を振動子へフィードバックすることで、温度変化による共振周波数のズレを防止することを可能とする。【解決手段】信号を入力する入力電極11と、信号を出力する出力電極12と、入力電極11および出力電極12に対して空間21を介して対向する振動子13と、振動子13に直流電圧を印加する電源41とを備えたMEMS共振器1において、共振器1は振動子13の長さが異なる複数の共振器からなり、MEMS共振器1もしくはその周囲の温度を測定する温度センサ51と、温度センサ51により測定された温度に基づいて複数の共振器から所望の共振周波数を得る共振器を選択し、電源41から選択した共振器の振動子に直流電圧を印加させる制御部61とを備えたものである。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
信号を入力する入力電極と、
信号を出力する出力電極と、
前記入力電極および前記出力電極に対して空間を介して対向する振動子と、
前記振動子に直流電圧を印加する電源と
を備えたマイクロ電気機械システムの共振器において、
前記共振器は振動子の長さが異なる複数の共振器からなり、
前記マイクロ電気機械システムの共振器もしくはその周囲の温度を測定する温度センサと、
前記温度センサにより測定された温度に基づいて前記複数の共振器から所望の共振周波数を得る共振器を選択し、前記電源から前記選択した共振器の振動子に直流電圧を印加させる制御部と
を備えたことを特徴とするマイクロ電気機械システムの共振器。
IPC (4件)：
H03H9/24
, B81B3/00
, B81B7/02
, H03H9/02
H03H9/24 Z
, B81B3/00
, B81B7/02
, H03H9/02 M
