特許
J-GLOBAL ID：200903069537393705
基板吸着装置及び基板吸着方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井上 義雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-240277
公開番号（公開出願番号）：特開平11-067882
出願日： 1997年08月22日
公開日（公表日）： 1999年03月09日
要約：
【要約】【課題】基板の平面度を維持しつつ吸着保持することのできる吸着装置及び吸着方法を提供する。【解決手段】CPU7が、第1配管1A内の気圧に応じて、第2配管1Bの気圧を制御するので、最適なタイミングで基板Pを部分毎に吸引でき、基板Pと基板保持面PH1との間に空気だまりを形成することなく確実に基板の吸着保持を行うことができる。
請求項（抜粋）：
基板を吸着保持する第1の吸着部と、前記第1の吸着部とは異なる位置で前記基板を吸着保持する第2の吸着部と、少なくとも前記第1の吸着部と前記基板との吸着状態を検出する検出部と、前記第1の吸着部の吸着状態の検出結果に応じて、前記第2の吸着部の吸着動作を制御する制御部とを備えていることを特徴とする基板吸着装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B23Q 3/08
, H01L 21/027
H01L 21/68 P
, B23Q 3/08 A
, H01L 21/30 503 C
