特許

J-GLOBAL ID：200903069540479084

基板処理システム

発明者： 内山 博文 ,  青木 淳行
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-253643
公開番号（公開出願番号）：特開2001-077009
出願日： 1999年09月07日
公開日（公表日）： 2001年03月23日
要約：

【要約】【課題】 パラメータ変更等をホスト側で統括的に管理・制御可能であり、また装置側でも、搬送された基板に対する情報をより多く得る。【解決手段】 基板Pに第1の処理を行う第1装置2と、基板Pに第2の処理を行う第2装置3とを備えた基板処理システム1において、基板Pに関する情報を第1装置2から第2装置3に通信する通信手段19と、基板Pに関する情報に基づいて第1装置2との間で第1の処理に関する制御情報を通信するとともに、第2装置3に通信された通信結果に基づいて第2装置3との間で第2の処理に関する制御情報を通信する制御部52とを備える。

請求項（抜粋）：

基板に第1の処理を行う第1装置と、前記基板に第2の処理を行う第2装置とを備えた基板処理システムにおいて、前記基板に関する情報を前記第1装置から前記第2装置に通信する通信手段と、前記基板に関する情報に基づいて前記第1装置との間で前記第1の処理に関する制御情報を通信するとともに、前記第2装置に通信された通信結果に基づいて前記第2装置との間で前記第2の処理に関する制御情報を通信する制御部とを備えることを特徴とする基板処理システム。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03F 9/00 ,  H01L 21/68

FI (5件)：

H01L 21/30 564 C ,  G03F 9/00 H ,  H01L 21/68 A ,  H01L 21/30 502 G ,  H01L 21/30 502 J

Fターム (17件)：

5F031CA05 ,  5F031CA07 ,  5F031GA48 ,  5F031MA24 ,  5F031MA26 ,  5F031MA27 ,  5F031PA04 ,  5F046AA18 ,  5F046BA05 ,  5F046CD01 ,  5F046CD02 ,  5F046CD05 ,  5F046DA29 ,  5F046DD03 ,  5F046DD06 ,  5F046JA22 ,  5F046LA18