特許

J-GLOBAL ID：200903069553028839

シート状コネクターおよびその製造方法、電気装置接続装置並びに検査装置

発明者： 五十嵐 久夫 ,  佐藤 克己
出願人/特許権者： ジェイエスアール株式会社
代理人 (1件)： 大井 正彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-100703
公開番号（公開出願番号）：特開2001-283996
出願日： 2000年04月03日
公開日（公表日）： 2001年10月12日
要約：

【要約】【課題】 接続されるべき半導体装置の金属電極に対して、長期間にわたって高い接触信頼性を保持することができ、また十分に小さい電気抵抗状態で電気的な接続を達成することができるシート状コネクターおよびその製造方法、電気装置接続装置並びに検査装置を提供すること。【解決手段】 シート状コネクターは、その厚み方向に貫通して伸びる複数の貫通導電部が相互に絶縁された状態で形成され、接続されるべき電気装置の金属電極と対接される貫通導電部の表面に、耐拡散性金属よりなるバリア層が設けられている。また、接続されるべき電気装置の金属電極と対接される貫通導電部の対接部分にエッジが形成されている。

請求項（抜粋）：

金属電極が設けられた電気装置との電気的接続に用いられるシート状コネクターであって、その厚み方向に貫通して伸びる複数の貫通導電部が相互に絶縁された状態で形成され、当該電気装置の金属電極と対接される貫通導電部の表面に、耐拡散性金属よりなるバリア層が設けられていることを特徴とするシート状コネクター。

IPC (7件)：

H01R 24/00 ,  G01R 1/073 ,  G01R 31/26 ,  H01R 11/01 ,  H01R 43/00 ,  H05K 3/32 ,  H01R107:00

FI (8件)：

G01R 1/073 B ,  G01R 31/26 J ,  H01R 11/01 A ,  H01R 43/00 B ,  H05K 3/32 B ,  H01R107:00 ,  H01R 23/02 D ,  H01R 23/02 E

Fターム (34件)：

2G003AA07 ,  2G003AG01 ,  2G003AG12 ,  2G011AA01 ,  2G011AA15 ,  2G011AB06 ,  2G011AC31 ,  2G011AD01 ,  2G011AE22 ,  2G011AF07 ,  5E023AA04 ,  5E023AA05 ,  5E023BB01 ,  5E023BB18 ,  5E023DD26 ,  5E023EE01 ,  5E023EE09 ,  5E023EE17 ,  5E023EE18 ,  5E023EE23 ,  5E023EE33 ,  5E023FF07 ,  5E023GG17 ,  5E023HH08 ,  5E023HH24 ,  5E023HH28 ,  5E051BA06 ,  5E051BB02 ,  5E051CA03 ,  5E319AA03 ,  5E319AB05 ,  5E319BB04 ,  5E319CC02 ,  5E319CC03

引用特許：

審査官引用 (2件)

• BGAソケット
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-304897   出願人：日本航空電子工業株式会社
• ウェハ一括型測定検査用プローブカードおよびセラミック多層配線基板ならびにそれらの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-323031   出願人：松下電器産業株式会社