特許
J-GLOBAL ID:200903069556472829
マイクロ化学分析システム
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
西澤 利夫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-061005
公開番号(公開出願番号):特開2002-257785
出願日: 2001年03月05日
公開日(公表日): 2002年09月11日
要約:
【要約】【課題】 高感度な微量分析を可能とする、新しいマイクロプラズマ源やマイクロネブライザーという要素技術とともに、これをチップに備えたマイクロ化学分析システムを提供する。【解決手段】 基板に微細な流路が配設されてフロー型分析システムが構成されているマイクロ化学分析システムにおいて、VHF駆動マイクロ誘導結合プラズマ源部が流路に配置されているものとする。
請求項(抜粋):
基板に微細な流路が配設されてフロー型分析システムが構成されているマイクロ化学分析システムにおいて、VHF駆動マイクロ誘導結合プラズマ源部が流路に配置されていることを特徴とするマイクロ化学分析システム。
IPC (2件):
G01N 27/447
, G01N 37/00 101
FI (3件):
G01N 37/00 101
, G01N 27/26 331 E
, G01N 27/26 331 K
引用特許: