特許
J-GLOBAL ID：200903069558328393
電子顕微鏡
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-247218
公開番号（公開出願番号）：特開平9-092191
出願日： 1995年09月26日
公開日（公表日）： 1997年04月04日
要約：
【要約】【課題】数百倍から数十万倍で高分解能の像観察が可能で観察性,操作性を著しく向上させる。【解決手段】対物レンズ2と、対物レンズ2の焦点距離を変えるため対物レンズ2のポールピース下側のヨークに形成された磁場を変えるための励磁コイルが設置された補助コイル16と、対物コイル15と、各結像レンズの励磁電源18〜23と、これらを制御するコンピュータとからなる。
請求項（抜粋）：
電子ビームを発生させる機構と、対物レンズと、前記電子ビームを結像する結像レンズ系を有する電子顕微鏡において、前記対物レンズのポールピース下側のヨークにギャップを設けて、前記ギャップの下側の前記ヨークの内部に励磁コイルが配置された補助レンズを設けたことを特徴とする電子顕微鏡。
IPC (3件)：
H01J 37/141
, H01J 37/10
, H01J 37/21
H01J 37/141 A
, H01J 37/10
, H01J 37/21 A
