磁気抵抗効果素子、磁気抵抗効果型磁気ヘッドおよびこれらの製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松隈秀盛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-340636
公開番号（公開出願番号）：特開2002-151756
出願日： 2000年11月08日
公開日（公表日）： 2002年05月24日
要約：

【要約】【課題】 SVMR構成、あるいはTMR構成による磁気抵抗効果素子、磁気抵抗効果型磁気ヘッドにおいて、感度が高く、製造の簡略化を図る。【解決手段】少なくとも、外部磁界に応じて磁化が回転する軟磁性材料からなる自由層4と、強磁性材料から成る固定層6と、この固定層6の磁化を固定する反強磁性層7と、自由層と固定層との間に介在されるスペーサ層5すなわち非磁性中間層もしくはトンネルバリア層とが積層されたSVMRあるいはTMR積層構造部を有し、特にその積層構造部に、その積層方向に少なくとも自由層と非磁性中間層もしくはトンネルバリア層と上記固定層とに差し渡ってそれぞれ一平面もしくは連続した一曲面による相対向する側面が形成された構成として、硬磁性層からの磁界が自由層4の磁化を確実に安定化することができる位置関係に選定することができ、かつ各層の幅を実質的に同一パターンとする。

請求項（抜粋）：

少なくとも、外部磁界に応じて磁化が回転する軟磁性材料からなる自由層と、強磁性材料から成る固定層と、該固定層の磁化を固定する反強磁性層と、上記自由層と上記固定層との間に介在されるスペーサ層とが積層された積層構造部を有し、上記積層構造部には、その積層方向に少なくとも上記自由層と上記スペーサ層と上記固定層とに差し渡ってそれぞれ一平面もしくは連続した一曲面による相対向する側面が形成され、該相対向する側面に直接的に接してあるいは絶縁層を介して、上記自由層の磁気的安定性を確保するための高抵抗もしくは低抵抗の硬磁性層が配置されて成り、上記積層構造部の積層方向を、該積層構造部に対するセンス電流の通電方向とし、該積層構造部の面方向に沿いかつ上記相対向する側面にほぼ沿う方向を外部磁界の印加方向としたことを特徴とする磁気抵抗効果素子。

IPC (7件)：

H01L 43/08 , G01R 33/09 , G11B 5/39 , H01F 10/08 , H01F 10/32 , H01L 43/12 , H01F 41/18

FI (7件)：

H01L 43/08 Z , G11B 5/39 , H01F 10/08 , H01F 10/32 , H01L 43/12 , H01F 41/18 , G01R 33/06 R

Fターム (23件)：

2G017AA01 , 2G017AC01 , 2G017AD55 , 2G017AD63 , 2G017AD65 , 5D034BA03 , 5D034BA04 , 5D034BA08 , 5D034BA12 , 5D034BA15 , 5D034BB08 , 5D034CA04 , 5D034CA08 , 5D034DA07 , 5E049AA04 , 5E049AA07 , 5E049AA09 , 5E049AC00 , 5E049AC05 , 5E049BA12 , 5E049CB02 , 5E049DB12 , 5E049GC01

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