特許
J-GLOBAL ID:200903069567153644
光起電力装置及びその製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
西野 卓嗣
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-243271
公開番号(公開出願番号):特開平6-097475
出願日: 1992年09月11日
公開日(公表日): 1994年04月08日
要約:
【要約】【目的】 光吸収効率を高めるための表面凹凸形状が均一で且つ微細のものとする光起電力装置を提供することにある。【構成】 基板(1)上の絶縁性セラミックス粒(2b)を含有した絶縁膜(2)を使用し、斯る絶縁膜(2)上に光電変換部を形成したことにあり、また、水素を含有した非晶質シリコン材料にエネルギービームを照射したことにより凹凸形状とし、その上に光電変換部を形成したことにある。
請求項(抜粋):
基板上に形成された、絶縁性セラミックス粒を含む絶縁膜と、上記絶縁膜上に形成された背面電極と、上記背面電極上に形成された半導体から成る光電変換層と、上記光電変換層上に形成された透光性電極と、を具備したことを特徴とする光起電力装置。
FI (2件):
H01L 31/04 M
, H01L 31/04 B
引用特許:
審査官引用 (4件)
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特開平4-196364
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特開平2-180081
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特開平3-159179
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