特許

J-GLOBAL ID：200903069576959120

X線分析装置

発明者： 山本 直樹 ,  常深 博
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-207802
公開番号（公開出願番号）：特開平5-045306
出願日： 1991年08月20日
公開日（公表日）： 1993年02月23日
要約：

【要約】【目的】微弱でかつ空間微小領域に分布したX線を高感度で検出する。【構成】極微細なX線エネルギ検知子を基板上に2次元的に配置したX線検出器により検出されたX線の輝度及びエネルギ情報を2次元表示装置上で検知子の位置に対応させて表示する。

請求項（抜粋）：

X線などの光や放射線,電子線あるいはイオンなどのビームを被測定材料に照射する手段と、該材料から放射されたX線の空間的分布と各空間位置でのX線のエネルギを検出するX線検出器と、検出結果を検出位置に対応させて2次元的に表示する手段とを有することを特徴とするX線分析装置。