特許
J-GLOBAL ID：200903069584701167
チャネル型光導波路の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤谷 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-261594
公開番号（公開出願番号）：特開平8-101321
出願日： 1994年09月30日
公開日（公表日）： 1996年04月16日
要約：
【要約】【目的】チャネル型光導波路の側壁の凹凸を平滑化して伝送損失を減少させる。【構成】基板4 、アンダークラッド層3 、コア層1 、オーバークラッド層2 で構成されたスラブ型導波路からエッチングして得られたチャネル型光導波路において、凹凸を伴う側壁12をコア材料を溶解した溶液中に浸漬することで平滑な側壁を有する導波路13を作製する。コア材料を溶解する溶媒中にコア材料を適当な濃度になるよう溶解した溶液中にチャネル型光導波路を浸漬し、諸定量の表皮層を溶解した後、溶液から導波路を引き上げ、乾燥させることにより新たに導波路表面にコア材料をコーティングでき、平滑な導波路側壁が得られる。浸漬中に除去されるコア層の厚さは、材料の溶液に対する溶解速度で決まるため、浸漬時間で制御できる。引き上げ後のコーティング膜厚は、引き上げ速度、溶液の粘度(濃度に依存)、温度、乾燥条件によって制御できる。
請求項（抜粋）：
基板上に側壁を有するチャネル部分が残留したチャネル型光導波路を製造する方法において、前記光導波路の構成材料のうちコア材料を溶解する溶媒にコア材料を溶解させて得られる溶液中に、前記側壁を有するチャネル部分を残留させて形成された前記チャネル型光導波路を浸漬し、その後、前記チャネル型光導波路を前記溶液から引き上げ後、前記チャネル型光導波路を徐乾して前記チャネル型光導波路の前記側壁の表面を平滑化することを特徴とするチャネル型光導波路の製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G02B 6/12 M
, G02B 6/12 N
