特許

J-GLOBAL ID：200903069586491950

赤外線センサおよび赤外線センサアレイ

発明者： 秦 久敏 ,  中木 義幸 ,  井上 博元
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 青山 葆 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-154112
公開番号（公開出願番号）：特開2003-344151
出願日： 2002年05月28日
公開日（公表日）： 2003年12月03日
要約：

【要約】【課題】 所定の波長帯域を有する赤外線に対して、高い検出感度を有する熱型の赤外線センサおよび赤外線センサアレイを提供する。【解決手段】 所定の波長帯域を有する赤外線を検出する熱型の赤外線センサが、基板と、基板上に脚部で支持され、温度検知膜と赤外線反射膜とを有する検出部と、検出部の上に支持部で支持された略平面状の赤外線吸収膜とを含み、赤外線吸収膜が、赤外線反射膜の表面に対して平行な状態から傾けて配置される。また、熱型の赤外線センサが、赤外線吸収膜からの光学的距離の異なる2層の赤外線反射膜を含む。

請求項（抜粋）：

所定の波長帯域を有する赤外線を検出する熱型の赤外線センサであって、基板と、該基板上に脚部で支持され、温度検知膜と赤外線反射膜とを有する検出部と、該検出部の上に支持部で支持された板状の赤外線吸収膜とを含み、該赤外線吸収膜が、該赤外線反射膜の表面に対して平行な状態から傾けて配置されたことを特徴とする赤外線センサ。

IPC (3件)：

G01J 1/02 ,  H01L 27/14 ,  H01L 37/00

FI (4件)：

G01J 1/02 C ,  G01J 1/02 Q ,  H01L 37/00 ,  H01L 27/14 K

Fターム (15件)：

2G065AB02 ,  2G065BA11 ,  2G065BA12 ,  2G065BA13 ,  2G065BA34 ,  2G065BE08 ,  2G065CA13 ,  2G065CA30 ,  2G065DA20 ,  4M118AB01 ,  4M118BA05 ,  4M118CA14 ,  4M118CA16 ,  4M118CB12 ,  4M118HA24