特許
J-GLOBAL ID：200903069589445789
表面波素子とその製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-310410
公開番号（公開出願番号）：特開平6-158274
出願日： 1992年11月19日
公開日（公表日）： 1994年06月07日
要約：
【要約】【目的】 窒化アルミニウム膜を用いる表面弾性波フルターや共振器等の表面弾性波素子の性能を向上する。【構成】 耐熱性基板上にPVDやCVDのような気相析出法により窒化アルミニウム膜を形成し、熱処理を施すことにより膜中の応力や不純物等を除く。この表面にアルミニウム等の電極を形成することにより、窒化アルミニウムの圧電性を利用した表面弾性波素子を作製する。とくに窒化アルミニウム膜の形成においてとくに反応性イオンプレーティング法を用いる。【効果】 この表面弾性波素子は鋭い発振または共振周波数を有すると同時に強度特性に優れている。また、高音速の伝播速度を持つことから特に高周波用素子において優れた特性を発揮し、配線幅も他材料に比べ大きくすることができるため製造過程においても優れている。
請求項（抜粋）：
反応性イオンプレーティング法により金属アルミニウムと窒素ガスから窒化アルミニウムを主成分とする膜を合成し、この膜に熱処理を施すことを特徴とする表面波素子の製造方法。
IPC (3件)：
C23C 14/06
, C30B 25/02
, G02B 5/00
