特許
J-GLOBAL ID：200903069591038902
欠陥検査方法及び装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-225682
公開番号（公開出願番号）：特開平11-142346
出願日： 1991年05月27日
公開日（公表日）： 1999年05月28日
要約：
【要約】【課題】1層或いは多層パターンを対象に信頼性の高い検査を行うため、高段差のパターンでも正確に焦点の合った高精度な画像検出、及び高感度な比較を実現する。また、極めて高速の外観検査方法及び装置を提供することにある。【解決手段】複数の1次元イメージセンサを2次元に配列し、各1次元センサの出力を定めた時間遅延しては対象の同一位置を撮像した隣接する1次元センサの出力と加算する機能を有し、並列に複数出力が可能なイメージセンサ、位置ずれ量を検出する不一致検出回路、位置合せを行う位置合せ回路、欠陥判定回路からなり、イメージセンサを斜めに傾けて配置し検出信号を並列に位置ずれ補正して比較する。
請求項（抜粋）：
本来同一形状となるべきパターンが複数規則的に配置された被検査物を時間遅延積分型CCDイメージセンサに対して相対的に移動させながら該相対的な移動と同期させて前記時間遅延積分型CCDイメージセンサで撮像して得た画像信号を用いて前記被検査物の欠陥を検出する方法であって、前記被検査物の第1の個所を前記時間遅延積分型CCDイメージセンサで撮像して複数の出力信号を前記時間遅延積分型CCDイメージセンサから並列に出力し、該並列に出力した前記第1の個所を撮像して得た出力信号を記憶手段に記憶し、前記被検査物の第2の個所を前記時間遅延積分型CCDイメージセンサで撮像して複数の出力信号を前記時間遅延積分型CCDイメージセンサから並列に出力し、該並列に出力した前記第2の個所を撮像して得た出力信号に基づく第2の画像信号を前記記憶手段に記憶してある前記出力信号に基づく第1の画像信号と比較することにより前記被検査物の欠陥を検出することを特徴とする欠陥検査方法。
IPC (4件)：
G01N 21/88
, G01B 11/24
, G02F 1/13 101
, H01L 21/66
G01N 21/88 E
, G01N 21/88 J
, G01N 21/88 Z
, G01B 11/24 F
, G02F 1/13 101
, H01L 21/66 J
