特許

J-GLOBAL ID：200903069602554940

湿度センサ

発明者： 近江 俊彦
出願人/特許権者： セイコーインスツルメンツ株式会社
代理人 (1件)： 林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-005941
公開番号（公開出願番号）：特開2001-194332
出願日： 2000年01月07日
公開日（公表日）： 2001年07月19日
要約：

【要約】【課題】 半導体ICの表面を移動する過度的な電荷を検出する方式により、高感度で、通常のCMOSプロセスで製造可能な、安価、小型の湿度センサ提供すること。【解決手段】 一方の極板の電位がフロートである容量部と、前記容量部のフロート電位側の極板に接続してあり前記容量の電荷を基準値に戻すリセットスイッチと、前記容量部の近傍に配置されて前記容量部とは独立した電位をもつ電位部からなり、前記電位部を第1の電位から第2の電位に変化させたときに、前記電位部から前記容量部に過度的に移動する電荷を前記容量部に蓄積して出力する回路構成とした。

請求項（抜粋）：

一方の極板の電位がフロートである容量部と、前記容量部のフロート電位側の極板に接続してあり前記容量の電荷を基準値に戻すリセットスイッチと、前記容量部の近傍に配置されて前記容量部とは独立した電位をもつ電位部からなり、前記電位部を第1の電位から第2の電位に変化させたときに、前記電位部から前記容量部に過度的に移動する電荷を前記容量部に蓄積して出力することを特徴とする湿度センサ。

IPC (2件)：

G01N 27/12 ,  G01N 27/00

FI (2件)：

G01N 27/12 J ,  G01N 27/00 A

Fターム (23件)：

2G046AA09 ,  2G046BA01 ,  2G046BB02 ,  2G046BF02 ,  2G046BF05 ,  2G046BH02 ,  2G046DA03 ,  2G046DC17 ,  2G046DC18 ,  2G046DD02 ,  2G046EB07 ,  2G046FB06 ,  2G060AA01 ,  2G060AB02 ,  2G060AE19 ,  2G060AF03 ,  2G060AF10 ,  2G060BA09 ,  2G060BB03 ,  2G060HA02 ,  2G060HC13 ,  2G060HE03 ,  2G060KA04

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 特開昭56-112637
  
• 高湿度気体中での湿度の測定方法及び装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-035364   出願人：帝人エンジニアリング株式会社, 株式会社フローシステム
• 湿度計
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-158456   出願人：リコー精器株式会社
• 特開昭55-129739
  
• 環境監視システム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-238993   出願人：ファルコンプランニング株式会社