5-置換-2-ハロメチル-1,3,4-チアジアゾール化合物及び感光性組成物

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：市之瀬宮夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-179223
公開番号（公開出願番号）：特開平5-346634
出願日： 1992年06月12日
公開日（公表日）： 1993年12月27日
要約：

【要約】【目的】画像形成感度の低下を生じることなく露光可視画性、特に低露光部の露光可視画性を向上せしめる。【構成】下記一般式[I]で表わされる5-置換-2-ハロメチル-1,3,4-チアジアゾール化合物、あるいは下記一般式[II]で表わされる化合物、又はこれらを含有する感光性組成物。【化15】

請求項（抜粋）：

下記一般式[I]で表わされる5-置換-2-ハロメチル-1,3,4-チアジアゾール化合物。【化1】(式中、Aは置換もしくは無置換のアリール基又は複素環基を表わし、Yは水素原子、ハロゲン原子、アルキル基、アリール基又は複素環基を表わし、Xはハロゲン原子を表わす。またlは1又は2であり、mは1〜3の整数を表わし、nは1又は2である。)

IPC (7件)：

G03C 1/675 , C07D285/12 , C07D311/08 , G03F 7/00 501 , G03F 7/004 507 , G03F 7/029 , H01L 21/027

FI (2件)：

C07D285/12 , H01L 21/30 301 R

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