特許
J-GLOBAL ID:200903069605243393

窒化珪素焼結体及びその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 高石 橘馬
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-306127
公開番号(公開出願番号):特開平6-128052
出願日: 1992年10月19日
公開日(公表日): 1994年05月10日
要約:
【要約】【目的】 優れた耐熱衝撃性を有する窒化珪素焼結体を製造する方法を提供する。【構成】 (a) 窒化珪素粉末と、(b) Y2 O3 、又はY2 O3 と、Al2 O3 、Yb2 O3 、HfO2 、Er2 O3 及びCr2 O3 からなる群から選ばれた1種又は2種以上とからなる焼結助剤粉末と、(c) ポリシラザンを熱分解してなるセラミックファイバー及び/又はセラミック粉末とから成形体を作製し、窒素含有雰囲気下で成形体を焼成することにより、セラミックファイバー及びセラミック粉末が存在した部分に微小な空孔を形成して焼結体とすることを特徴とする方法である。好ましくは、セラミックファイバー又はセラミック粉末の組成を、Si:45〜60重量%、N:5〜30重量%、C:5〜20重量%、O:1〜30重量%とする。
請求項(抜粋):
窒化珪素と焼結助剤とを含有する成形体を焼結して得られる窒化珪素焼結体において、前記焼結体中に微小な空孔が分散して形成されていることを特徴とする窒化珪素焼結体。
IPC (2件):
C04B 38/00 303 ,  C04B 35/58 102

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