特許
J-GLOBAL ID:200903069605401576
テープキャリア欠陥検査装置
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
半田 昌男
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-079497
公開番号(公開出願番号):特開2000-275032
出願日: 1999年03月24日
公開日(公表日): 2000年10月06日
要約:
【要約】【課題】 フレーム単位で製品の検査結果を管理することができるテープキャリア欠陥検査装置を提供する。【解決手段】 CCDカメラ31aは、搬送装置10で所定の検査領域に搬送されてきたテープキャリアを撮像する。欠陥検査部20aは、その得られた画像に基づいてテープキャリアの各製品に生じた欠陥を検査する。記憶部80は、検査結果を各フレームの製品毎に記憶する。統括制御装置70は、その検査結果を管理し、例えば各フレーム毎の製品の歩留りを求める。また、統括制御装置70は、テープキャリアの両方の面の検査が行われる場合、その表面及び裏面のうち一方の面の検査が行われた後に、一方の面の検査結果を記憶部80から読み出し、その検査結果に基づいて良品と判定された製品を特定すると共に、他方の面についてはその特定した製品のみの検査を行うように欠陥検査部20aを制御する。
請求項(抜粋):
テープキャリアを所定の送り量ずつ搬送する搬送手段と、前記搬送手段で所定の検査領域に搬送されてきた前記テープキャリアを撮像する撮像手段と、前記撮像手段で得られた画像に基づいて前記テープキャリアの各製品に生じた欠陥を検査する欠陥検査手段と、前記欠陥検査手段での検査結果を前記テープキャリアの各フレームの製品毎に記憶する記憶手段と、前記記憶手段に記憶された前記各フレームの製品毎の検査結果を管理する制御手段と、を具備することを特徴とするテープキャリア欠陥検査装置。
Fターム (25件):
2F065AA17
, 2F065AA49
, 2F065AA61
, 2F065BB11
, 2F065BB15
, 2F065DD06
, 2F065FF04
, 2F065GG17
, 2F065JJ03
, 2F065JJ05
, 2F065JJ19
, 2F065JJ26
, 2F065MM03
, 2F065MM14
, 2F065MM24
, 2F065MM28
, 2F065PP03
, 2F065PP11
, 2F065QQ23
, 2F065QQ31
, 2F065QQ39
, 2F065QQ41
, 2F065SS13
, 2F065TT03
, 2F065TT08
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