特許
J-GLOBAL ID：200903069614230148

液滴吐出装置及びパターンの作製方法

発明者：
前川 慎志

前川 慎志 について

, 
中村 理

中村 理 について

, 
今井 馨太郎

今井 馨太郎 について


出願人/特許権者：
株式会社半導体エネルギー研究所

株式会社半導体エネルギー研究所 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-192806
公開番号（公開出願番号）：特開2005-051216
出願日： 2004年06月30日
公開日（公表日）： 2005年02月24日
要約：
【課題】 表面に凸凹がなく平坦化されたパターンの作製方法と、平坦化されたパターンの作成が可能な液滴吐出装置を提供することを課題とする。【解決手段】 本発明の液滴吐出装置は、各行で吐出口が一軸方向に配列された複数のノズルを複数行含む液滴吐出手段を有し、複数のノズルの吐出口の径は、各行で異なることを特徴とする。また、本発明のパターンの作製方法の一態様は、各行で吐出口が一軸方向に配列された複数のノズルを2行分含む液滴吐出手段のうち、1行目に配置された複数のノズルから組成物を吐出して第1のパターンを形成するステップ、第1のパターンの凹部に2行目に配置された複数のノズルから組成物を選択的に吐出して第2のパターンを形成するステップを有し、1行目に配置された複数のノズルと2行目に配置された複数のノズルから吐出する組成物の吐出量は互いに異なることを特徴とする。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
各行で吐出口が一軸方向に配列された複数のノズルを複数行含む液滴吐出手段を有し、 前記複数のノズルの吐出口の径は、各行で異なることを特徴とする液滴吐出装置。
IPC (9件)：
H05K3/10 ,  B05C5/00 ,  B05D1/26 ,  B41J2/01 ,  H01L21/288 ,  H01L21/3205 ,  H01L21/336 ,  H01L29/786 ,  H01L41/09
FI (10件)：
H05K3/10 D ,  B05C5/00 101 ,  B05D1/26 Z ,  H01L21/288 Z ,  B41J3/04 101Z ,  H01L41/08 J ,  H01L21/88 B ,  H01L29/78 612D ,  H01L29/78 617J ,  H01L29/78 616K
Fターム (153件)：
2C056EC72 ,  2C056ED02 ,  2C056FA04 ,  2C056FA15 ,  2C056FB05 ,  2C056FB08 ,  4D075AC06 ,  4D075AC09 ,  4D075AC88 ,  4D075AC93 ,  4D075AC94 ,  4D075AE02 ,  4D075AE04 ,  4D075CA22 ,  4D075CA47 ,  4D075CB38 ,  4D075DA06 ,  4D075DB13 ,  4D075DC19 ,  4D075DC21 ,  4D075DC24 ,  4D075EA10 ,  4D075EC10 ,  4F041AA02 ,  4F041AA05 ,  4F041AB01 ,  4F041BA10 ,  4F041BA12 ,  4F041BA15 ,  4F041BA22 ,  4F041BA38 ,  4M104BB01 ,  4M104BB02 ,  4M104BB04 ,  4M104BB05 ,  4M104BB06 ,  4M104BB07 ,  4M104BB08 ,  4M104BB09 ,  4M104BB13 ,  4M104BB14 ,  4M104BB17 ,  4M104BB18 ,  4M104BB25 ,  4M104BB26 ,  4M104BB29 ,  4M104BB30 ,  4M104BB33 ,  4M104BB36 ,  4M104DD08 ,  4M104DD09 ,  4M104DD16 ,  4M104DD17 ,  4M104DD18 ,  4M104DD20 ,  4M104DD51 ,  4M104DD75 ,  4M104DD78 ,  4M104DD80 ,  4M104DD81 ,  4M104FF17 ,  4M104FF18 ,  4M104FF22 ,  4M104GG08 ,  4M104HH12 ,  5E343AA02 ,  5E343BB23 ,  5E343BB24 ,  5E343BB25 ,  5E343BB28 ,  5E343BB35 ,  5E343BB40 ,  5E343BB44 ,  5E343BB49 ,  5E343BB59 ,  5E343BB72 ,  5E343DD12 ,  5E343EE43 ,  5E343ER33 ,  5E343FF05 ,  5E343GG06 ,  5F033HH07 ,  5F033HH08 ,  5F033HH11 ,  5F033HH13 ,  5F033HH14 ,  5F033HH16 ,  5F033HH17 ,  5F033HH18 ,  5F033HH19 ,  5F033HH33 ,  5F033JJ04 ,  5F033JJ17 ,  5F033JJ18 ,  5F033JJ19 ,  5F033JJ21 ,  5F033JJ23 ,  5F033JJ27 ,  5F033JJ29 ,  5F033JJ32 ,  5F033JJ33 ,  5F033JJ34 ,  5F033JJ35 ,  5F033KK01 ,  5F033NN06 ,  5F033NN07 ,  5F033PP26 ,  5F033QQ09 ,  5F033QQ10 ,  5F033QQ11 ,  5F033QQ19 ,  5F033QQ47 ,  5F033QQ73 ,  5F033QQ75 ,  5F033QQ82 ,  5F033QQ83 ,  5F033QQ99 ,  5F033RR04 ,  5F033RR06 ,  5F033RR08 ,  5F033RR21 ,  5F033RR22 ,  5F033RR27 ,  5F033TT02 ,  5F033VV06 ,  5F033VV15 ,  5F033XX01 ,  5F110AA16 ,  5F110AA26 ,  5F110BB01 ,  5F110CC06 ,  5F110CC07 ,  5F110EE01 ,  5F110EE02 ,  5F110EE03 ,  5F110EE04 ,  5F110EE07 ,  5F110EE42 ,  5F110FF02 ,  5F110FF03 ,  5F110GG15 ,  5F110HK01 ,  5F110HK02 ,  5F110HK03 ,  5F110HK04 ,  5F110HK07 ,  5F110HK08 ,  5F110HK21 ,  5F110HK32 ,  5F110NN02 ,  5F110NN72 ,  5F110QQ11 ,  5F110QQ19
引用特許：
審査官引用 (4件)
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