特許
J-GLOBAL ID：200903069615391927
バルブ制御装置及びバルブ制御方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
曾我 道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-132601
公開番号（公開出願番号）：特開平5-150839
出願日： 1992年05月25日
公開日（公表日）： 1993年06月18日
要約：
【要約】【構成】 ガス流路24中のガス流量を正確に制御するためのバルブ制御装置であって、ガス流路24に設けられガス流量に対応する流量信号を生成する流量計30と、ガス流路24に設けられた流量設定板付バルブ22と、流量信号に応答してガス流路24中のガス流量を変化させるために流量設定板付バルブ22を制御するコンピュータ32とを備えたものである。【効果】 正確で所望の流量が得られるという効果がある。
請求項（抜粋）：
ガス流路中のガス流量を正確に制御するためのバルブ制御装置であって、前記ガス流路に設けられ、前記ガス流量に対応する流量信号を生成する流量測定手段と、前記ガス流路に設けられたバルブと、前記流量信号に応答して前記ガス流路中のガス流量を変化させるために、前記バルブを制御する制御手段と、を備えたバルブ制御装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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