特許
J-GLOBAL ID：200903069615997426
オゾン発生装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
絹谷 信雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-326377
公開番号（公開出願番号）：特開平11-157807
出願日： 1997年11月27日
公開日（公表日）： 1999年06月15日
要約：
【要約】【課題】 短ギャップ化が達成できると共に冷却とシールが簡単にできるオゾン発生装置を提供する。【解決手段】 四隅がアール11に形成され、かつ四周の断面に丸み12を持たせたアルミ製平板電極13の中央にオゾンガス取出口14を形成すると共にその平板電極13内に冷却通路15を形成し、さらに電極13表面に誘電体層16をコーティングして電極体10を形成し、この電極体10を放電ギャップ17を形成すべくスペーサ18を介して多段に積層して電極積層体19を形成し、該電極積層体19を容器26内に収容すると共にその各電極体10間に高圧電源29を接続し、上記容器26に、原料ガス供給口27を接続すると共に電極体10のオゾンガス取出口14に連なるオゾン排出管28を接続し、さらに各電極体10内の冷却通路に冷媒給排管33,34を接続したものである。
請求項（抜粋）：
四隅がアールに形成され、かつ四周の断面に丸みを持たせたアルミ製平板電極の中央にオゾンガス取出口を形成すると共にその平板電極内に冷却通路を形成し、さらに電極表面に誘電体層をコーティングして電極体を形成し、この電極体を放電ギャップを形成すべくスペーサを介して多段に積層して電極積層体を形成し、該電極積層体を容器内に収容すると共にその各電極体間に高圧電源を接続し、上記容器に、原料ガス供給口を接続すると共に電極体のオゾンガス取出口に連なるオゾン排出管を接続し、さらに各電極体内の冷却通路に冷媒給排管を接続したことを特徴とするオゾン発生装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
C01B 13/11 G
, C01B 13/11 M
, H01T 23/00
