特許
J-GLOBAL ID：200903069620447973
アルミナ質焼結体及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
内藤 俊太 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-313538
公開番号（公開出願番号）：特開2003-119071
出願日： 2001年10月11日
公開日（公表日）： 2003年04月23日
要約：
【要約】【課題】 有害成分を大量に含有することなく、安価に体積固有抵抗率を109〜1011Ω・cmの範囲において制御することのできるアルミナ質焼結体及びその製造方法並びに静電チャックを提供する。【解決手段】 アルミナ粉末に、TiO2及び/又はAl2TiO5の粉末をTi換算で0.5〜3.6質量%、BN、B4C又はBの1種又は2種以上の粉末をB換算で0.04〜0.9質量%になるように添加、混合し、非酸化性雰囲気又は真空中で1200〜1700°Cの温度でホットプレス焼成又はHIP焼成又はガス圧焼成することを特徴とするアルミナ質焼結体及びその製造方法。絶縁体基板2上に設けられた導体層3と、導体層3を被覆する誘電体層1を備えた静電チャックであって、誘電体層1及び絶縁体基板2、若しくは少なくとも誘電体層1は上記アルミナ質焼結体を用いてなることを特徴とする静電チャック。
請求項（抜粋）：
チタン酸化物をTi換算で0.5〜3.6質量%、ボロン及び/又はボロン化合物をB換算で0.04〜0.9質量%含み、残部が実質的にアルミナからなり、非酸化性雰囲気焼成で得られてなることを特徴とするアルミナ質焼結体。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 R
, C04B 35/10 D
4G030AA21
, 4G030AA35
, 4G030AA36
, 4G030AA46
, 4G030AA50
, 4G030BA01
, 4G030BA18
, 4G030GA24
, 4G030GA27
, 4G030GA29
, 5F031CA02
, 5F031HA02
, 5F031HA16
, 5F031HA32
, 5F031NA05
, 5F031PA21
