特許
J-GLOBAL ID：200903069622795880
アライメント誤差補正方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
永井 冬紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-086734
公開番号（公開出願番号）：特開平10-281711
出願日： 1997年04月04日
公開日（公表日）： 1998年10月23日
要約：
【要約】【課題】 正確なアライメント誤差補正を簡便に行うことができるアライメント誤差補正方法を提供する。【解決手段】 被検面の干渉計測で得られた干渉縞の情報に含まれる被検面のアライメントずれに起因する見掛け上の誤差を補正するためのアライメント誤差補正方法において、極座標形式で表した面に対して、干渉計測で得られた情報を最適フィッティングすることにより誤差を補正する。
請求項（抜粋）：
被検面の干渉計測で得られた干渉縞の情報に含まれる前記被検面のアライメントずれに起因する見掛け上の誤差を補正するためのアライメント誤差補正方法において、極座標形式で表した面に対して、前記干渉計測で得られた情報を最適フィッティングすることにより、前記誤差を補正することを特徴とするアライメント誤差補正方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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