特許
J-GLOBAL ID：200903069626696177
ウエハトランスファチャンバ及びウエハの予熱方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-275836
公開番号（公開出願番号）：特開平9-115985
出願日： 1995年10月24日
公開日（公表日）： 1997年05月02日
要約：
【要約】【課題】 ウエハに高温雰囲気中で物理的あるいは化学的な処理を施す枚葉式の処理装置において、高温に保持されている処理室内にウエハを装入する際、処理室内においてウエハに反りが発生する現象を防止する。【解決手段】 ウエハトランスファチャンバ1は処理室2、3に隣接して配置され、ウエハをカセットチャンバ4、5から処理室2、3へ移載する。このウエハトランスファチャンバ1の中のウエハの停止位置の上面に透明な窓を設け、この窓に赤外線加熱装置9、10を取り付け、赤外線加熱装置9、10を用いて、ウエハの予熱を行う。
請求項（抜粋）：
ウエハに高温雰囲気中で物理的あるいは化学的な処理を施す枚葉式の処理室に隣接して配置され、ウエハをカセットチャンバから処理室へ移載するウエハトランスファチャンバにおいて、ウエハトランスファチャンバ内に収容されたウエハを予熱する手段を備えていることを特徴とするウエハトランスファチャンバ。
IPC (4件)：
H01L 21/68
, B01J 19/00
, B65G 49/07
, H01L 21/205
H01L 21/68 A
, B01J 19/00 K
, B65G 49/07 C
, H01L 21/205
