特許

J-GLOBAL ID：200903069628562593

高誘電率アルミナグリーンシートの製造方法

発明者： 西島 英孝 ,  野崎 利夫 ,  内山 豊
出願人/特許権者： 株式会社住友金属エレクトロデバイス
代理人 (1件)： 加古 宗男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-009039
公開番号（公開出願番号）：特開平9-199369
出願日： 1996年01月23日
公開日（公表日）： 1997年07月31日
要約：

【要約】【課題】 アルミナ多層基板の内層コンデンサの電極間のショートを防ぎ、焼成後のアルミナ多層基板の反りや寸法変動を少なくする。【解決手段】 アルミナ粉末にMo,W等の金属粉末を加え、樹脂、溶剤、可塑剤を添加し、ボールミルで粉砕混合してスラリーを作る。この際、ボールミル内に収容する球石において、外径10〜20mmの球石を用いることで、粉砕混合後のスラリーの粒径を、D10=0.4〜0.5μm、D50=1.3〜1.5μm、D90=3.0〜4.0μmとする。このスラリーで高誘電率アルミナグリーンシートを形成し、これを通常の誘電率の低いアルミナグリーンシートと積層してコンデンサ内蔵アルミナ多層基板を焼成すれば、金属粉末の粗大粒によるショートが発生せず、しかも粒度分布がシャープになることで、焼成後のアルミナ多層基板の反りや寸法変動を少なくすることができる。

請求項（抜粋）：

アルミナ粉末に金属粉末を加え、樹脂、溶剤、可塑剤を添加し、ボールミルで粉砕混合し、スラリーとした後、グリーンシートを製造する方法において、ボールミル粉砕混合後のスラリーの粒径を、D10=0.4〜0.5μm、D50=1.3〜1.5μm、D90=3.0〜4.0μm(但しD10、D50、D90はそれぞれ累積粒度分布の微粒側から累積10%、累積50%、累積90%の粒径)とすることを特徴とする高誘電率アルミナグリーンシートの製造方法。

IPC (2件)：

H01G 4/12 364 ,  H05K 3/46

FI (4件)：

H01G 4/12 364 ,  H05K 3/46 Q ,  H05K 3/46 H ,  H05K 3/46 T