特許

J-GLOBAL ID：200903069632030512

走査露光装置及び走査露光方法

発明者： 太田 和哉
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-150943
公開番号（公開出願番号）：特開2004-356291
出願日： 2003年05月28日
公開日（公表日）： 2004年12月16日
要約：

【課題】スループットを低下させたり、異物を発生させることなく、原版のパターン領域外のピンホール欠陥に起因する感応基板上での不適正露光(かぶり)を有効に防止できるよう改良を加えた走査露光装置及び走査露光方法を提供する。【解決手段】レチクル2に照射する照明ビームIBの外形は、レチクル2の近傍に配置した成形開口で輪帯状に成形されている。レチクル2のパターン領域CPのX方向の両端においては、一対の可動ブラインド部材33A、33Bによって照明ビームIBのX方向両端を画しつつパターン領域CPを露光する。パターン領域CPのY方向の両端には、ブラインド部材を設けず、照明ビームIB1本分の欠陥フリー領域PFを設けている。これにより、パターン領域CP外の欠陥に起因する感応基板上への不適正露光(かぶり)を防ぐことができる。【選択図】 図3

請求項（抜粋）：

原版上に形成されたパターンを感応基板上に、露光領域を走査しつつ転写する走査露光装置であって、 前記原版の露光領域を制限する該原版の近傍に配置されたブラインド機構を備え、 該ブラインド機構が、 走査方向(Y方向)と直交する方向(X方向)に可動の、前記露光領域のX方向端を画する一対の可動ブラインド部材を有することを特徴とする走査露光装置。

IPC (2件)：

H01L21/027 ,  G03F7/20

FI (3件)：

H01L21/30 515D ,  G03F7/20 521 ,  H01L21/30 518

Fターム (10件)：

5F046BA05 ,  5F046CB05 ,  5F046CB17 ,  5F046CB23 ,  5F046DA01 ,  5F046DA06 ,  5F046GA03 ,  5F046GA14 ,  5F046GB03 ,  5F046GD10