特許

J-GLOBAL ID：200903069644322438

透明板状体の平面歪測定装置

発明者： 木平弘志
出願人/特許権者： セントラル硝子株式会社
代理人 (1件)： 坂本 栄一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-205626
公開番号（公開出願番号）：特開平6-050723
出願日： 1992年07月31日
公開日（公表日）： 1994年02月25日
要約：

【要約】【目的】オンライン状態に於ける透明板状体の不均一な熱分布により発生する熱歪および外的な力によって発生する平面歪を自動的に補正し、正確な平面歪が測定できる測定装置を提供することを目的とする。【構成】本発明は、光源からの光を第1の偏光板により偏光させ、得られる偏光を透明板状体に透過させ、透明板状体から出射した光を水晶楔に入射させ、この水晶楔により分岐された振動方向が互いに直交、位相の異なる二つの偏光をさらに第2の偏光板に入射させ、このとき得られる干渉縞の位置を、基準位置からの移動量として測定することにより歪み量を測定する装置において、第2の偏光板からの光を収束する投影レンズと、投影レンズからの収束された光を受光する受光素子と該受光素子の出力信号により歪を自動的に演算する演算処理装置を少なくとも具備するようにしたことを特徴とし、さらに透明板状体の表面温度を測定して温度補正などをするための温度測定手段を付加するとより好ましい。

請求項（抜粋）：

光源からの光を第1の偏光板により偏光させ、得られる偏光を透明板状体に透過させ、透明板状体から出射した光を2枚の水晶板を互いに光軸が直交するように貼合わせた水晶楔に入射させ、この水晶楔により分岐された振動方向が互いに直交、位相の異なる二つの偏光をさらに第2の偏光板に入射させ、このとき得られる干渉縞の位置を、基準位置からの移動量として測定することにより歪み量を測定する装置において、第2の偏光板からの光を収束する投影レンズと、投影レンズからの収束された光を受光する受光素子と該受光素子の出力信号により歪を自動的に演算する演算処理装置を少なくとも具備するようにしたことを特徴とする透明板状体の平面歪測定装置。